合肥芯碁微電子裝備股份有限公司，于 2015 年 6 月成立于合肥市 高新技術(shù)開發(fā)區(qū)，專業(yè)從事以微納直寫光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備 及無掩膜光刻設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)，于 2021 年 4 月在科創(chuàng)板上市，是中國直寫光刻設(shè)備第一股，公司股票代碼 688630。 作為國內(nèi)直寫光刻設(shè)備龍頭企業(yè)，公司堅(jiān)持自主研發(fā)與創(chuàng)新，擁有 完整的自主知識產(chǎn)權(quán)。憑借團(tuán)隊(duì)領(lǐng)先的研發(fā)水平，公司目前擁有知識產(chǎn) 權(quán)百余項(xiàng)，并獲批建立了“外國專家工作室 ”和“第十批省級博士后科 研工作站 ”。
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